多功能真空镀膜电源亮相广东省真空学会2020年学术年会
第四届粤港澳真空科技创新发展论坛暨广东省真空学会2020年学术年会期间,佛山诺亚电器有限公司创新开发的多功能镀膜电源在会议展区展出,赢得了与会真空镀膜行业专家和真空镀膜设备生产企业的关注。这款多功能镀膜电源的主要特点是:电源集成了离子加速与薄膜原料加热双重功能,适用于集团离子束镀膜与多弧离子镀膜,还可以用于直流溅射镀膜、直流偏压溅射镀膜等镀膜设备,引弧电流0~10A,加热电流0~120A,工作电压0~1200V,输出功率0~120kW,避免了常规镀膜电源过流、过压断电保护,避免了被动灭弧同时灭辉,避免了手动设置工序工艺等离散的操控工作,本电源可自动跟踪炉体内的等离子电离深度,自动平滑地调整输出电流电压。本电源可编程功能强大、控制灵活、工作稳定,质量可靠、性价比可观,是离子镀镀膜设备最佳选择。哈尔滨工业大学的田修波教授对这款多功能镀膜电源非常重视,同诺亚公司总工范承博士进行了深入的交流和沟通,达成了合作意向。
佛山诺亚电器有限公司还展示了,大功率直流磁控溅射电源,大功率偏压磁控溅射电源,大功率中频磁控溅射电源等,磁控溅射电源可达到100kw以上,填补了大功率真空镀膜用磁控溅射电源的国内空白。其重点技术特点是,即使在运行过程中瞬间短路,短路电流依然能够持续稳定输出,灭弧同时保持辉光,保证镀膜过程持续,镀膜效果稳定。
同时还展示了公司研发生产500kwPNC离子氮化电源和1.3MWSPS等离子烧结电源等电源类产品。诺亚对电源类产品的研发生产具有成熟的经验和技术,能够紧跟镀膜工艺和新材料发展的步伐,在等离子应用相关电源方面走在行业的前沿。
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